프로브 테스트 솔루션
α200PW
고출력 프로브 스테이션
High Voltage, High Power 측정에 최적의 솔루션!!
주요 특장점
- 다양한 프로브 선택 가능, 20 kV 및 100 A 측정 테스트 가능
- 각각의 프로브 방전 가능
- 빠른 포지셔닝
- 3 스텝의 Z축 스위칭
- 포지션 미세조정 가능
- 다양한 장비 사용 가능 (키사이트 및 키슬리 제품)
표준 스펙
- 본체 크기: D: 600mm, W: 600mm, H: 450mm
- 본체 무게: 40 kg
- Stage travel: X:200mm, Y:200mm
- Sub stage travel: X:25mm, Y:25mm
- 척(Chuck) 크기: 4～8 인치
- 웨이퍼 홀더(Wafer hold): Vacuum absorbing (400mm Hg 이상)
고 전력 프로브
* 2657A과 2751A는 키슬리의 고전력 시스템 소스미터 입니다.
고전압 및 고온의 Low Leak 측정
고 전력용 핫 척(Hot Chuck) 및 온도 척(Thermo Chuck)
온도 범위, 노이즈 수준, 고전력, 크기 및 측정 용도 등에 따라 알맞은 척(Chuck)을 선택할 수 있습니다.
Heated 형
- 4 ~ 12 인치 웨이퍼
- RT~400°c 온도 범위
- 저 노이즈, Low Leak,
스펙 및 일반 스펙 라인업
히터(heater) 및 칠러(Chiller) 혼합형
- 4 ~ 12 인치 웨이퍼
- -55 ~ 330°c 온도 범위
- 저 노이즈, Low Leak 라인업
펠티에(Peltier) 형
- 5 인치 웨이퍼
- -40 ~ 125°c 온도 범위
- 저 노이즈, Low Leak 라인업
- 신속한 온도 조정
- 약 20°C를 조절 가능
- 칠러형 보다 더 합리적
사업자등록번호 : 220-86-72761대표이사 : 신동만대표전화 : 070-7872-0701팩스 : 02-2167-3801
(우)07299 서울특별시 영등포구 경인로 775 (문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층)
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