컴팩트 프로브 스테이션
Compact probe station
간단한 IV/CV 측정에 최적의 솔루션
50 ㎜ 사이즈 칩 까지 측정 가능!!
주요 특장점
- 쏠라 시뮬레이터 장착 가능
- 작은 사이즈, 가벼운 무게
- 편리한 이동성
- 안정적이고 정확한 측정을 위해 차폐 박스 설치 가능
- Attach to the shield box, stable and precision measurement
- 간단한 구조, 저렴한 가격
Low leak 측정 유닛 구성 예
- 본체 (50 mm stage)
- 마이크로 포지셔너(Micropositioner) : 3 pcs
- 3축(Triaxial) 프로브 : 3pcs
- 텅스텐 바늘 : 25pcs/box
- 커넥터 판넬 : TXA 4pcs
- 진공 펌프(Vacuum pump)
장비 도면 예